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      博諾格儀器

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      流量儀表

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      美國KEY壓電閥

       

       

      PEV-1壓電閥是為了適用于要求精確控制氣體流量的場合,主要應用領域包括:磁控濺射,光學鍍膜,太陽能電池,ITO,等離子體刻蝕等。
           PEV-1壓電閥主要技術特點:
           1、控制模式:開環控制和閉環控制
           2、易于集成:可與國產自動壓強控制儀配套使用,來實現閉環控制,達到穩定壓強的目的,性價比高,同時亦可選擇進口壓強控制儀
           3、響應時間快
           4、性能穩定,壓電陶瓷片壽命長
           5、無機械連接件,無伺服馬達,無磨損,在斷電的情況下可實現自動關閉的特點
           技術參數:
           流量:0¬—500 scmm
           響應時間:2 毫秒
           漏率:1*10-9sml/sec
           電壓:0—100VCD
           溫度范圍:10攝氏度至60攝氏度
           最大入口壓強:50PSI
       

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