氣體質量流量計/控制器
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SAILSORS氣體質量流量控制器
產品特點：
量程：5SCCM～250SLPM
精度：±1% FS
響應時間：10ms（流量計）、100ms（控制器）
量程比：100:1（流量計）、50:1（控制器）
耐壓：1MPa（可選3MPa）
工作溫度：0～50℃
通訊：0-5V/1-5V/4-20mA、RS485/RS232
特點：可選本地顯示、多種介質選擇、（瞬時和累計流量、溫度、絕壓）可顯示輸出。