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      博諾格儀器

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      氣體質量流量計/控制器

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      Porter質量流量控制器

       

      設計特點
      · 熱式原理
      · 一體化設計
      · 滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM
      · 響應時間不超過 2 秒鐘
      · 操作壓力可達 20.7MPa
      · 對安裝位置不敏感
      · 316SS 材質,允許測量腐蝕性氣體
      · 無直管段安裝要求
      · 單電源供電
      技術參數
      流量范圍 :從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ,具體請參考表一
      響應時間 : 1 ~ 2 秒
      精 度 : ± 1% 滿量程(除 204A 型)
      ---------± 1± 1.5%.滿量程( 204A 型)
      重 復 性 : ± 0.2% 滿量程
      量 程 比 : 50:1 ( 2%-100% 滿量程)
      環境和操作溫度 : -10 ~ 70 ℃
      最大操作壓力 : 3000PSIG ( 20.7MPa ),具體請參考資料
      零點漂移: ± 0.05 % 滿量程 / ℃
      范圍漂移 : ± 0.05 % 讀數 / ℃
      壓力漂移 : 0.1%/atm (相對于 N 2 )
      安裝方向 : 對位置不敏感
      預熱時間 : 10 分鐘
      電氣連接 : 卡式 ( 20 針)或 D 型( 9 針)
      設定點輸入流量信號輸出 :0-5VDC/0-5VDC (最小負載電阻 2K Ω );
      -------------------------0-10VDC/0-10VDC (最小負載電阻 3K Ω );
      -------------------------1-5VDC/1-5VDC (最小負載電阻 2K Ω );
      -------------------------4-20mA/4-20mA (請參考下面的說明);
      -------------------------1-5VDC/4-20mA (請參考下面的說明)
      對于流量信號輸出為 4-20mA 的負載電阻:
      環路電壓為 6.5-15VDC 時: 0-450 Ω
      環路電壓為 15-30VDC 時: 200-750Ω
      供應電源 :
      電壓輸出:+ 12( ± 5 % ) (僅適用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號輸出)或 +15( ± 10 % )VDC
      電流輸出:+ 15( ± 5 % ) 或 +24( ± 15 % )VDC
      電流消耗:< 250mAdc
      重 量 :請參考表一
      結構材質

      主體: 316SS
      傳感器組件 : 316LSS
      孔: 316SS
      閥構成部件 (接液):
      302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik?1802 (除 202 、 221 、 222 和 251 型);302SS , 316SS , Sandvik?1802 ( 202 、 221 、 222 和 251 型)
      密封材質(” O ”型環和閥座):
      Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton (除 202A 、 203A 和 204A 型);Buna N , Viton ( 202A 、 203A 和 204A 型)
      過程連接: 316SS

       

      選型表

       

      型號

      流量范圍

      最小/最大 N2

      最大操作壓力

      PSIG(MPa)

      重量

      Ibs(Kg)

      201

      0-5SCCM/0-10SLPM

      1000(6.9)

      1.2(0.54)

      202

       0-10SLPM/0-100SLPM

      1000(6.9)

      4.1(1.86)

      221

      0-5SCCM/0-10SLPM

      3000(20.7)

      4.11.86

      222

       0-10SLPM/0-100SLPM

      3000(20.7)

      4.11.86

      251

      0-10SLPM/0-50SLPM

      1000(6.9)

      1.40.64

      202A

       0-10SLPM/0-100SLPM

      200(1.4)

      5.12.31

      203A

       0-100SLPM/0-500SLPM

      200(1.4)

      10.94.95

      204A

       0-500SLPM/0-1000SLPM

      200(1.4)

      10.94.95


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