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      博諾格儀器

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      氣體質量流量計/控制器

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      Line Tech氣體質量流量計

       

       產品特點:

      快速的響應時間

      無泄漏

      優秀的抗腐蝕性

      極好的線性

      較高的長期穩定性

      寬泛的壓力范圍

      模塊化設計

      較高的性價比

       

      技術指標:

      流量范圍
      10SCCM-125SLPM
      響應時間
      2sec
      準確度
      1%FS
      重復精度
      ±0.25%
      輸入/輸出信號
      0-5VDC,4-20mA
      供電電源
      +15~28VDC,350mA
      耐壓
      <9MPa
      工作環境溫度
      0-50
      泄漏率
      1*10-9atm.cc/sec

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